建设单位：北京凯德股份有限公司
建设地址：北京通州漷县工业区
工程规模：1800 平千级局部百级洁净车间，包含：洁净围护装修、防静电系统、恒温 恒湿净化空调、静电防护、压差管控及配套机电工程、消防专业、拆除
使用用途：用于芯片制程用石英舟、石英炉管、腔体配件等高纯材料精密加工、清洗 装配
施工周期：3 个月（2021 年 1 月-2021 年 3 月）
施工重难点：
(1)高纯低污染洁净管控:严控金属离子、粉尘、水汽残留，石英材料对微 量杂质极敏感，全程无尘施工。
(2)百级/千级分层洁净+梯度压差:多等级洁净分区，压差稳定，防止交叉污染、室外倒灌。
(3)ESD 全域接地与低离子析出装修:接地网搭接、等电位、地坪无杂质析出，匹配半导体高 纯要求。
(4)高温工艺配套防潮控湿:长期低湿环境控制，避免石英吸潮析晶，保障高温使用寿命。
(5)纯水、高纯氮气、工艺管线集成:超纯水、氮气管路洁净无泄漏，与净化空调、电气管线 综合排布防碰撞。
(6)成品无尘保护:半成品存储、转运全密闭，杜绝二次粉尘污染。